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중국 첨단 DUV 장비 약 343대 보유, 보고서 추정
신설 싱크탱크가 중국 반도체 공장의 액침 리소그래피 장비 수를 집계하고 전면적인 수출 금지를 촉구했습니다.
중국 기업이 소유한 반도체 공장은 2026년 1분기 기준 액침 심자외선(DUV) 노광 장비 약 343대를 보유한 것으로 나타났습니다. Center for Technology and Statecraft의 Nicholas Brown, Saif M. Khan 보고서(2026년 9월 하순 발표)를 사우스차이나모닝포스트가 인용 보도했습니다. 이 중 약 270대가 ASML의 NXT:1980i이고, 나머지는 NXT:2050i 22대, NXT:2100i 여섯 대, 구형 약 45대입니다.
AI 관점에서 NXT:1980i가 중요한 이유는 Huawei의 Ascend 프로세서 같은 7nm 로직과 이 칩에 쓰이는 HBM2e 메모리를 만들 수 있기 때문입니다. 보고서 저자들은 중국 공장의 장비 한 대가 연간 Ascend 910C급 칩을 100,000개 넘게 생산할 수 있다고 추정합니다. 액침 DUV 장비는 ASML이 약 99%를, Nikon이 나머지를 공급합니다. 보고서는 중국이 AI 칩 생산을 확대할 만큼의 규모로 액침 DUV 장비를 자체 생산하는 일은 2030년대 중반 이전에는 어려울 것으로 봅니다.
저자들은 중국으로 가는 액침 DUV 판매를 전면 중단하고, 부품과 유지보수도 제한해야 한다고 주장합니다. SCMP 기사를 요약한 ChainCatcher에 따르면 이 싱크탱크는 2026년 8월에 설립됐고, ASML 매출에서 중국이 차지하는 비중은 2024년 41%에서 2026년 2분기 14%로 떨어졌습니다.
AI 컴퓨팅을 구매하는 쪽에게 이번 집계는 중국의 AI 칩 생산이 이미 설치된 장비에 얼마나 기대고 있는지를 보여 줍니다. 보고서가 신규 판매뿐 아니라 유지보수와 부품까지 겨냥하는 이유입니다.
출처
- Center for Technology and Statecraft: DUV Immersion Lithography: The Foundation of the US AI Advantage. 확인
- ChainCatcher: Analysis: China may have stockpiled 343 immersion deep ultraviolet lithography machines. 확인